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  • 电子与半导体
    内容概述

    PA系列工业过程在线分析仪,可应用于电子与半导体行业湿化学制程工艺过程中关键化学组分浓度的在线监测和管控。包括但不限于酸洗、显影、蚀刻、去膜、棕化、除胶、沉铜、镀铜、化锡等过程。

    分析仪基于通用型的硬件平台和具备流程编辑功能的软件平台运行,可根据客户特定的检测项目和检测方法需求进行定制。

    以下为PCB行业常见管控项目的配置方案示例:

    工序

    槽体

    检测项目

    检测方法

    配置设备

    酸洗

    酸洗

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    PA4015工业过程在线分析仪

    显影

    显影

    碳酸钠(Na2CO3

    酸碱滴定

    PA4015工业过程在线分析仪

    线路DES

    显影

    碳酸钠(Na2CO3

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    蚀刻

    酸度

    酸碱滴定

    铜离子(Cu2+

    络合滴定 / 光度分析

    去膜

    氢氧化钠(NaOH)

    酸碱滴定

    快速蚀刻

    酸洗

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    闪蚀

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    铜离子(Cu2+

    络合滴定 / 光度分析

    过氧化氢(H2O2

    氧化还原电位滴定

    棕化

    酸洗

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    铜离子(Cu2+

    络合滴定 / 光度分析

    过硫酸钠(Na2S2O8

    氧化还原电位滴定

    除油

    除油剂

    酸碱滴定

    棕化

    棕化剂

    光度分析

    PA4025工业过程在线分析仪

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    铜离子(Cu2+

    络合滴定 / 光度分析

    过氧化氢(H2O2

    氧化还原电位滴定

    除胶

    蓬松

    碳酸钠当量

    酸碱滴定

    PA4015工业过程在线分析仪

    氢氧化钠当量

    酸碱滴定

    除胶

    六价锰(Mn6+/ 七价锰(Mn7+

    光度分析

    PA4025工业过程在线分析仪

    碳酸钠当量

    酸碱滴定

    氢氧化钠当量

    酸碱滴定

    (预)中和

    酸当量

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    中和剂

    氧化还原电位滴定

    酸浸

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    沉铜

    微蚀

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    铜离子(Cu2+

    络合滴定 / 光度分析

    过氧化氢(H2O2

    氧化还原电位滴定

    酸洗

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    PA4015工业过程在线分析仪

    预浸

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    PA4015工业过程在线分析仪

    铜离子(Cu2+

    光度分析

    活化

    pH

    玻璃电极

    PA4015工业过程在线分析仪

    钯离子(Pd2+

    光度分析

    还原

    pH

    玻璃电极

    PA4015工业过程在线分析仪

    还原剂

    氧化还原电位滴定

    化铜

    甲醛(HCHO

    氢氧化钠(NaOH)

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    化铜基本剂

    氧化还原电位滴定 / 光度分析

    化铜添加剂

    氧化还原电位滴定 / 光度分析

    镀铜

    除油

    酸当量

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    酸洗

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    镀铜

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    氯离子(Cl-

    沉淀滴定

    五水硫酸铜(CuSO4·5H2O)

    络合滴定 / 光度分析

    剥挂

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    铜离子(Cu2+

    络合滴定 / 光度分析

    过氧化氢(H2O2

    氧化还原电位滴定

    酸洗

    硫酸(H2SO4

    酸碱滴定

    镀铜

    镀铜

    五水硫酸铜(CuSO4·5H2O)

    光度分析

    PA4011工业过程在线分析仪

    化锡

    除油

    除油剂

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    微蚀

    微蚀剂

    氧化还原电位滴定

    铜离子(Cu2+

    络合滴定 / 光度分析

    化锡

    总酸

    酸碱滴定

    PA4025工业过程在线分析仪

    硫脲

    光度分析

    二价锡(Sn2+

    光度滴定

    铜离子(Cu2+

    光度分析

    碱洗

    pH

    玻璃电极

    PA4015工业过程在线分析仪

    去离子

    后浸剂

    酸碱滴定


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